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介绍了利用光刻胶热熔法制作微透镜阵列这种简单、实用的技术.阐明了其原理、工艺流程、关键技术并给出了实验结果.结果表明,光刻胶热熔技术是一种简单、实用的微透镜阵列制作技术.本文的研究结果可为微透镜阵列的进一步研制及产业化提供参考.
微透镜阵列的光刻胶热熔制作技术
【摘 要】
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介绍了利用光刻胶热熔法制作微透镜阵列这种简单、实用的技术.阐明了其原理、工艺流程、关键技术并给出了实验结果.结果表明,光刻胶热熔技术是一种简单、实用的微透镜阵列制
【机 构】
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长春理工大学,空间光电技术研究所,长春,130022长春理工大学,光电信息学院,长春,130012;长春理工大学,光电工程学院,长春,130022;
【出 处】
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长春理工大学学报
【发表日期】
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2006年4期
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