Ti 离子注入 LiNbO_3表面光学性能

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本文研究了 x,y,z 三种切向的 LiNbO_3单晶片注入350keV 高能 Ti 离子(注入剂量为1.5×10~(17)/cm~2)后的表面光学性能。利用光谱仪及 AUEL 椭偏仪对三种切向 LiNbO_3试样在不同工艺处理后的光透射率及折射率进行了测试。注入损伤造成的光损耗可通过热处理消除,使晶格结构恢复至与完整晶格排列相近;注入层的折射率可增加11—13%左右。 In this paper, the surface optical properties of LiNbO_3 single crystal with x, y, z tangents injected into 350 keV high energy Ti ion (implantation dose of 1.5 × 10 17 / cm 2) were studied. The optical transmittance and refractive index of three kinds of tangential LiNbO_3 samples after different treatments were tested by spectrometer and AUEL ellipsometer. The optical loss caused by implantation damage can be eliminated by heat treatment, so that the lattice structure is restored to be similar to the complete lattice arrangement; the refractive index of the injection layer can be increased by about 11-13%.
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