空间遥感用InGaAs短波红外探测器

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1 引言 1μm-3μm红外探测器技术在空间遥感领域有着重要的应用。由于很多物质在该波段具有独特的光谱特性,因此短波红外探测器在空间对地探测如了解资源分布、土壤水分监测、大气成分分析、农作物估产等方面有着重要的作用。制备该波段红外探测器的材料主要有In-GaAs基Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体和HgCdTe等。经过多年的发展,目前已经有多种对地观察仪
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