【摘 要】
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为实现薄膜基板太阳能电池的高效率化，富士电机最近开发了利用微晶硅（μc—si）的太阳能电池。做晶硅太阳能电池需要在高速下制膜（desposition），尽管高速制膜与转换效率之间存在着折
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为实现薄膜基板太阳能电池的高效率化，富士电机最近开发了利用微晶硅（μc—si）的太阳能电池。做晶硅太阳能电池需要在高速下制膜（desposition），尽管高速制膜与转换效率之间存在着折衷关系，但通过制膜方法与条件的改善，在4倍于初期的制膜速度下，达到了等于或高于初期开发阶段的高转换效率。如将这些技术应用于多结（multi-junction）太阳能电池中，则可达到比现有薄膜基板太阳能电池更高的稳定转换效率11．7％：
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