【摘 要】
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Two kinds of superlattice interfaces of InAs/AlSb superlattices are realized in an optimized interface growth process, where one is AlAs-like and the other is I
【机 构】
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Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080
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Two kinds of superlattice interfaces of InAs/AlSb superlattices are realized in an optimized interface growth process, where one is AlAs-like and the other is InSb-like grown on a relaxed AlSb buffer layer. The superlattice properties such as interface roughness and layer thickness are studied by grazing incidence x-ray reflectivity. The reflectivity curves are simulated by standard software till the simulation curves match well with the experimental curves. The simulation indicates that AlAs-like interfaces are much rougher than InSb-like interfaces. Grazing incidence x-ray reflectivity is also discussed as a powerful tool to assessing the structure properties of superlattices.
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