光学非球曲面中高频面形误差的控制与补偿技术研究

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本文分析了非球曲面中、高频面形误差的产生原因及作用机理,对面形精度有直接影响的切削刀具、切削参数、加工路径、切削状态、测量方法、工作环境等因素,提出了优化选择的规则和控制策略;给出了减小误差的补偿原理和编程设计方法,并在数控机床上进行了编程补偿试验,结果证明面形误差得到了有效控制。 This paper analyzes the causes and mechanism of the high-frequency surface error in the aspheric surface, the cutting tool, the cutting parameters, the machining path, the cutting condition, the measurement method and the working environment that have a direct impact on the surface accuracy. The selection rules and control strategies are given. The compensation principle and programming method of reducing error are given. The compensation experiment of programming is carried out on the CNC machine tool. The results show that the surface shape error is effectively controlled.
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