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分别采用溶胶-凝胶法，水热合成法，热雾喷解法制备了纳米多孔TiO2薄膜。以X射线衍射，扫描电镜等方法分析了不同制备方法所得薄膜结构与形貌。通过比较不同方法制备的TiO2薄膜的亲水性能，得知溶胶-凝胶法制备的薄膜和玻璃载体结合最紧，而且表面平整。热雾喷解法制备的薄膜具有最大的比表面积，其亲水性能也最好。同时表明，纳米多孔TiO2薄膜在紫外光照射以后，具有比一般薄膜更持久的亲水型。