【摘 要】
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目的比较分析氢元素对类金刚石涂层摩擦性能的影响,研究含氢和无氢DLC涂层在铣削ZL108铝合金时的切削性能。方法分别采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和磁控溅射物理气相
【机 构】
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上海应用技术大学上海物理气相沉积（PVD）超硬涂层及装备工程技术研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金(51971148);上海市科委重点支撑计划(170905038000);上海市联盟计划(LM201904)~~
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目的比较分析氢元素对类金刚石涂层摩擦性能的影响,研究含氢和无氢DLC涂层在铣削ZL108铝合金时的切削性能。方法分别采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和磁控溅射物理气相沉积(MS)制备含氢和无氢DLC涂层,并采用三维形貌仪对涂层基片表面形貌进行表征,通过切削实验分析两种涂层铣刀的切削性能。结果MS制备的无氢DLC涂层结构致密,无凹坑、针眼等缺陷。在摩擦磨损试验时发现,无氢DLC涂层磨损率(3.58×10^–6 mm^3/N)明显小于含氢DLC涂层(4.62×10^–6 mm^3
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