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讨论提出用连续的光源描述函数代替0～1分布的光源函数精确描述光源光强分布，以提高光刻分辨率．在SPIAT的基础上应用新的光源特征函数，建立新的光源模型，并结合测试模板进行仿真．结果显示，新的模型在精度上有较为明显的改善，新光源特征函数有助于建立更为精确的光刻模型．
一种用于光刻模拟的新光源模型
【摘 要】
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讨论提出用连续的光源描述函数代替0～1分布的光源函数精确描述光源光强分布，以提高光刻分辨率．在SPIAT的基础上应用新的光源特征函数，建立新的光源模型，并结合测试模板进行仿真．结
【机 构】
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浙江大学超大规模集成电路研究所
【出 处】
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江南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2007年5期
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