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采用弧离子增强磁控溅射（AEMS）方法制备了TiAlSiN多元硬质薄膜，研究了不同A1含量对薄膜常温及高温微观形貌的影响。结果表明，此类薄膜均具有致密的显微组织．对应于特定Al含量，薄膜表面形貌最优，缺陷最少；薄膜高温热稳定性和抗氧化能力优异．800℃未观察到明显的表面显微组织变化。
Al含量对TiAlSiN薄膜常温及高温微观形貌的影响
【摘 要】
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采用弧离子增强磁控溅射（AEMS）方法制备了TiAlSiN多元硬质薄膜，研究了不同A1含量对薄膜常温及高温微观形貌的影响。结果表明，此类薄膜均具有致密的显微组织．对应于特定Al含量，薄膜
【机 构】
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西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
【出 处】
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煤矿机械
【发表日期】
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2010年7期
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