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微机电系统是近代出现的一种微型化、电与机械结合新型技术,有着广泛的、深远的影响。本文根据目前最新研发状态,对微机电系统的未来某几个方面做出合理的猜测,具有很大的可行性。
微机电系统的未来趋势
【摘 要】
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微机电系统是近代出现的一种微型化、电与机械结合新型技术,有着广泛的、深远的影响。本文根据目前最新研发状态,对微机电系统的未来某几个方面做出合理的猜测,具有很大的可
【机 构】
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安徽三联学院
【出 处】
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科教文汇(下旬刊)
【发表日期】
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2016年12期
【基金项目】
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基于Multi-Agent煤矿安全监控系统研究,编号:2015Z003
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