论文部分内容阅读
电子束扫描场的畸变校正是电子束曝光机的关键技术之一。在圆形束曝光机的研制中,首次开展了对电子束扫描场的校正工作。本文探讨了扫描场畸变表达式并叙述了获得最佳校正的途径。
对电子束扫描场畸变表达式的研究
【摘 要】
：
电子束扫描场的畸变校正是电子束曝光机的关键技术之一。在圆形束曝光机的研制中,首次开展了对电子束扫描场的校正工作。本文探讨了扫描场畸变表达式并叙述了获得最佳校正的
【机 构】
：
中国科学院电工研究所
【出 处】
：
电工电能新技术
【发表日期】
：
1989年1期
其他文献
"十四五"时期,我国的土壤生态环境保护形势依然严峻,不仅历史遗留土地污染问题的解决仍需大量的投入,而且新的土壤环境污染问题和需求仍将不断涌现。建议从健全土壤生态环境
特许经营在美国国家公园系统中具有重要作用,源于1916年《国家公园管理局组织法》对保护自然及文化资源和提供可持续游憩的双重要求。目前美国国家公园系统的419处国家公园单
重污染河流已成为制约经济社会可持续发展的瓶颈,一直以来其污染综合整治是一大难题。本文采用个案剖析方法,运用多角度、多层次分析视角,对广东练江重污染流域综合整治实践
抗生素是微生物在生长过程中为了生存竞争的需要所产生的抑制或杀灭其它微生物的化学物质.目前所指的抗生素除上述定义外,还有半合成抗生素,它是以抗生素为基础并对其结构进
在我国建设管理体制改革日益深入中,建筑市场逐渐规范化、现代化,已经形成了有序、公正的竞争局面,如何在竞争越发激烈的市场环境中站稳脚跟,并一举中标,这是各大企业需要重
为探索太平鸡的生长发育规律,本研究以200羽太平鸡(公母各半)为试验动物,运用Logistic、Gompertz和Bertalanffy三种非线性模型对太平鸡公鸡和母鸡的周龄、体重和生长数据进行
随着新课程的不断革新,对教育的各方面要求越发严格。在新课改背景下,要求高中物理教师拓展教学方法,科学安排物理实验,利用多种教学资源促进物理实验教学的开展,帮助学生树
初中政治是极具有思想性的一门学科。对初中学生来说,政治课程尤为重要。从初中阶段开始学习思想政治,有助于帮助学生树立正确的是非观念。初中政治对学生树立法律意识以及形