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本文简要介绍了扫描电子束曝光机中扫描场畸变的形式、校正原理、电路设计、校正过程及结果。
电子束曝光机的畸变校正装置
【摘 要】
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本文简要介绍了扫描电子束曝光机中扫描场畸变的形式、校正原理、电路设计、校正过程及结果。
【机 构】
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中国科学院电工研究所
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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1990年3期
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