【摘 要】
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激光平面干涉仪是测定平面的平直度、局部误差及平行平面平行度的仪器。φ100mm激光平面干涉仪是国营长江光学仪器厂在长期实践中试制成功的,使用该仪器可以测量接近平面的
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激光平面干涉仪是测定平面的平直度、局部误差及平行平面平行度的仪器。φ100mm激光平面干涉仪是国营长江光学仪器厂在长期实践中试制成功的,使用该仪器可以测量接近平面的非平面度和大曲率半径球面的曲率。
Laser plane interferometer is to measure the flatness of the plane, local error and parallel plane parallel instrument. φ100mm laser plane interferometer is the state-run Yangtze Optical Instrument Factory trial production in the long-term practice, the use of the instrument can measure the near-plane non-flatness and large curvature radius of the curvature of the sphere.
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