用热扩散法测量薄膜

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wallopczp
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热扩散测量通常是在样品两个侧面上以接触方式进行的。当后侧面不能接近或被牢固地安在衬底上时,这种测量就不太行。但使用脉冲激光感应热辐射术进行没有实体接触的热扩散测量的单端法则是完全可行的。 IBM研究实验室所做的工作中,W.P.Leung等人就是用这种技术测量各种材料的热扩散和厚度的。要使这种测量技术有效,样品必须对激光波长 Thermal diffusivity measurements are usually made on both sides of the sample in contact. When the back side can not be close to or securely on the substrate, this measurement is not too good. However, the use of pulsed laser-induced thermal radiation for thermal diffusivity measurements without physical contact is entirely feasible. At IBM Research Laboratories, W.P. Leung et al. Used this technique to measure the thermal diffusion and thickness of various materials. For this measurement technique to be effective, the sample must be at the laser wavelength
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