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首次利用前馈三层神经网络模型 ,建立了场发射薄膜的膜厚的神经网络预测模型 ,用金刚石薄膜的膜厚数据进行验证 .结果表明 ,该模型预测的相对误差小于 6.1 % .更多还原
基于神经网络方法预测薄膜的厚度
【摘 要】
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首次利用前馈三层神经网络模型 ,建立了场发射薄膜的膜厚的神经网络预测模型 ,用金刚石薄膜的膜厚数据进行验证 .结果表明 ,该模型预测的相对误差小于 6.1 % .更多还原
【机 构】
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西安交通大学电信工程学院电子系!西安710049,西安交通大学电气工程学院!西安710049
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2000年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金!( 696760 0 4 ),教育部博士点基金!( 960 6980 3 )
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