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本文主要研究管式PECVD的二次镀膜工艺优化,通过对石墨舟使用次数与状态的实验对比分析,得出未经镀膜或者镀膜次数较少的石墨舟可以改善二次镀膜不良片的产生的结论;最终通过二次镀膜工艺改进,提升了产线的合格率与产量,保证了产线电池片半成品的质量。
石墨舟对二次镀膜工艺的影响
【摘 要】
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本文主要研究管式PECVD的二次镀膜工艺优化,通过对石墨舟使用次数与状态的实验对比分析,得出未经镀膜或者镀膜次数较少的石墨舟可以改善二次镀膜不良片的产生的结论;最终通过
【机 构】
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山西省潞安太阳能科技有限责任公司,山西省光伏电池工程技术研究中心
【出 处】
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山西能源学院学报
【发表日期】
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2017年04期
【基金项目】
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本文系山西省重点研发计划重点项目“柔性炭电极材料研究”（项目编号：201603D112007）阶段性成果.
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