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针对CMOS二维风速风向传感器的工作原理,分析了传感器的控制电路及其特点,并根据该类传感器的特点,重点探讨了信号检测处理电路的形式和特点.拟采用恒温差或者温度平衡控制模式实现对加热器的控制,用斩波放大技术或热∑-△调制技术构建信号处理电路,用标准CMOS工艺实现传感器和控制处理电路的系统集成.
CMOS二维风速计控制及检测电路的研究
【摘 要】
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针对CMOS二维风速风向传感器的工作原理,分析了传感器的控制电路及其特点,并根据该类传感器的特点,重点探讨了信号检测处理电路的形式和特点.拟采用恒温差或者温度平衡控制模
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年6期
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