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介绍了静电键合工艺仿真模型及其过程仿真,对平板电极、单点电极、多点电极的键合电流和键合进程进行了建模,采用动态工艺数据库方法完成了三种静电键合工艺下的可视化编程,实现了静电键合过程的可视化仿真与工艺CAD.
基于静电键合过程模型的工艺仿真
【摘 要】
：
介绍了静电键合工艺仿真模型及其过程仿真,对平板电极、单点电极、多点电极的键合电流和键合进程进行了建模,采用动态工艺数据库方法完成了三种静电键合工艺下的可视化编程,
【机 构】
：
哈尔滨工业大学,黑龙江大学,沈阳工业大学
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
：
2005年z1期
【基金项目】
：
国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404014)
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