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半导体晶圆专用UPSS电子级氢氟酸在储存过程中容易受到污染且储存周期短,为2~3 d。从储存设备的内衬材质和新型特殊自呼吸装置两方面进行了研究。通过选择内衬材质和新型特殊自呼吸装置,成功解决了金属离子不断释放污染产品的问题,并延长储存周期至30 d。
半导体晶圆专用UPSS电子级氢氟酸储存方法研究
【摘 要】
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半导体晶圆专用UPSS电子级氢氟酸在储存过程中容易受到污染且储存周期短,为2~3 d。从储存设备的内衬材质和新型特殊自呼吸装置两方面进行了研究。通过选择内衬材质和新型特殊
【机 构】
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福建省邵武市永飞化工有限公司
【出 处】
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有机氟工业
【发表日期】
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2018年01期
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