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,Atomic-layer-deposited Al2O3 and HfO2 on InAlAs: A comparative study of interfacial and electrical
【机 构】
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School of Microelectronics, Xidian University, Key Laboratory of Wide Band-Gap Semiconductor Materia
【出 处】
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中国物理B（英文版）
【发表日期】
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2016年10期
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