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在微型光学陀螺仪中，声表面波声光移频器是实现系统闭环控制的核心执行器件。本文在理论分析与设计的基础上，以Ｋ８玻璃为基片，采用相应工艺成功地研制出声表面波声光移频器样本。经测试，其主要技术指标已初步满足微型光学陀螺仪的设计要求。
声表面波声光移频器的工艺与实验研究
【摘 要】
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在微型光学陀螺仪中，声表面波声光移频器是实现系统闭环控制的核心执行器件。本文在理论分析与设计的基础上，以Ｋ８玻璃为基片，采用相应工艺成功地研制出声表面波声光移频器样本。经
【机 构】
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清华大学精密仪器系
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1998年3期
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