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介绍一种新型微位移电容式传感器的工作原理，探讨了一些参数对传感器的影响，并给出了实验分析的结果。
新型微位移电容式传感器的研制
【摘 要】
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介绍一种新型微位移电容式传感器的工作原理，探讨了一些参数对传感器的影响，并给出了实验分析的结果。
【机 构】
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上海大学机械电子工程学院
【出 处】
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上海大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1995年6期
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