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介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法。该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能，为进一步实现微流量控制系统奠定了基础。
微流量泵与微流量传感器的系统集成
【摘 要】
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介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法。该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱动单元既有驱动功
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
：
功能材料与器件学报
【发表日期】
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1998年02期
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