【摘 要】
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介绍了直拉法生长单晶硅的基本原理及工艺条件。通过控制不同的工艺参数(晶体转速:2.5、10、20rpm;坩埚转速:1.25、5、10),成功生长出了三根150×1000mm优质单晶硅棒。分别对
【机 构】
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长春理工大学材料科学与工程学院,吉林建筑工程学院
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介绍了直拉法生长单晶硅的基本原理及工艺条件。通过控制不同的工艺参数(晶体转速:2.5、10、20rpm;坩埚转速:1.25、5、10),成功生长出了三根150×1000mm优质单晶硅棒。分别对这三种单晶硅样品进行了电阻率、氧含量、碳含量、少子寿命测试,结果表明,当晶体转速为10rpm,坩埚转速为5rpm,所生长出的单晶硅质量最佳。最后分析了氧杂质和碳杂质的引入机制及减少杂质的措施。
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