星团式MBE设备延长摩尔定律进程

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世界上的硅片领先制造商们正在使用Riber公司的星团式分子束外延(MBE)设备研究用ⅢⅤ族半导体材料来延续摩尔定律。具有领先地位的半导体研究中心———比利时大学校际微电子中心(IMEC)正在安装从法国设备销售商Riber公司购得的“唯一”一台星团式分子束外延设备。这台星团式外 Leading silicon wafer manufacturers in the world are using Riber’s Cluster Molecular Beam Epitaxy (MBE) device to study the continuation of Moore’s Law with Group III-V semiconductor materials. A leading semiconductor research center, the University of Belgium Inter-School Microelectronics Center (IMEC), is installing the “only” one cluster molecular beam epitaxy equipment purchased from the French equipment distributor Riber. This star-style outside
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