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用扫描隧道显微和光致发光方法,观察了发光多孔硅的微结构形貌。发现多孔硅的光致发光主要源自其最表面层;该层是无定型的,但又不同于一般的非晶硅,而像是由大量纳米尺度的硅原子族组成的海绵状微结构;诸硅原子簇随机分布,相互间没有清晰的界面;没有观察到“线”状或“柱”状的结构;多孔硅的微结构有明显的分形特征,其发光很可能是源自此纳米硅材料中的量子尺寸效应。