【摘 要】
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本文直接用椭圆偏振法测金属膜厚度,并且对计算金属膜ψ,△公式进行了详细的推导。实验结果表明,用激光椭圆仪实施对金属膜厚度的测量,可以得到比较满意的结果。
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本文直接用椭圆偏振法测金属膜厚度,并且对计算金属膜ψ,△公式进行了详细的推导。实验结果表明,用激光椭圆仪实施对金属膜厚度的测量,可以得到比较满意的结果。
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