低压电化学合成类金刚石薄膜研究

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【摘要】

：

采用液相电化学沉积方法,以乙醇为碳源,并加入含有KCl的去离子水溶液,在较低电压下（60V以下）,在铜基底上沉积出类金刚石（DLC）薄膜.用SEM表征薄膜表面形貌,用Raman光谱表征薄膜成

【作者】

：

朱其豹相炳坤李文帅杨也孟兆升王信智

【机构】

：

南京航空航天大学机电学院

【出处】

：

机械制造与自动化

【发表日期】

：

2013年6期

【关键词】

：

类金刚石薄膜电化学沉积 SEM RAMAN光谱 diamond-like carbon （DLC） film electrochemical depositi

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采用液相电化学沉积方法,以乙醇为碳源,并加入含有KCl的去离子水溶液,在较低电压下（60V以下）,在铜基底上沉积出类金刚石（DLC）薄膜.用SEM表征薄膜表面形貌,用Raman光谱表征薄膜成份结构.结盟表明,少量KCI的加入,能够大幅降低沉积电压并提高DLC的沉积速率;沉积出的类金刚石膜均为连续,有较低的表面粗糙度;SP3碳键含量较高（约为30％）.

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