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采用直流反应磁控溅射法制备ZAO薄膜和WO3薄膜,PAMPS-Li^＋作为离子储存层和离子导电层,ZAO薄膜作为对电极,制备成ZAO/WO3/PAMPS/ZAO电致变色器件。运用XRD、SEM、可见分光光度计、伏安特征曲线分别对薄膜的晶体结构、成分、微观表面形貌、透射光谱特性及电致变色性能进行分析,探讨了WO3薄膜的电致变色性能和微观结构之间的关系。结果表明：PAMPS-Li^＋离子胶体是一种很好的离子储存层和离子导电层。实验中全固态电致变色薄膜器件在可见光范围内着色态和褪色态平均透光率差值高达50%以上