多晶硅铸锭用坩埚喷涂工艺研究

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坩埚喷涂是多晶硅铸锭生产过程中重要的工序,直接影响到多晶硅锭的产品质量。介绍多晶硅铸锭的方法及工艺原理,着重分析坩埚对多晶硅锭的影响,并对坩埚喷涂工艺进行研究和分析,有利于提高多晶硅锭的生产效率和产品质量。 Crucible spraying is an important process in the production of polycrystalline silicon ingot, which directly affects the product quality of polycrystalline silicon ingot. The method and process principle of polycrystalline silicon ingot are introduced. The influence of crucible on polycrystalline silicon ingot is analyzed emphatically. The research and analysis of crucible spraying process is helpful to improve polycrystalline silicon ingot production efficiency and product quality.
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