【摘 要】
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从光线传播的角度分析了非周期多层膜Kirkpatrick-Baez（KB）显微镜的成像性能,并与单层膜KB显微镜、周期多层膜KB显微镜进行了对比。与单层膜KB显微镜相比,多层膜KB显微镜提高了
【机 构】
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同济大学精密光学工程技术研究所,中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【基金项目】
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国家高技术发展计划项目,国家自然科学基金项目（10825521,10773007）,上海市科学技术委员会科研计划项目（07DZ22802）
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从光线传播的角度分析了非周期多层膜Kirkpatrick-Baez（KB）显微镜的成像性能,并与单层膜KB显微镜、周期多层膜KB显微镜进行了对比。与单层膜KB显微镜相比,多层膜KB显微镜提高了工作掠入射角度,在同样分辨力和集光效率要求下具有更大的视场。周期多层膜KB显微镜的反射率和能量分辨本领高于非周期多层膜KB显微镜,但非周期多层膜元件具有较大的角度带宽和均一的反射率,克服了周期多层膜KB显微镜视场范围和像场均匀性的不足。在此基础上,制备了中心角度1.133 0°的非周期多层膜反射镜元件,以8
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