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硅光波导的束传播法设计及制备
硅光波导的束传播法设计及制备
来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zyhpeter2011
【摘 要】
:
报道用束传播法模拟设计、指导硅大断面单模脊形光波导的制备工艺,应用傅里叶变换法计算了硅光波导中导模的传播常数,对实际研制成功的SIMOX及Si/GexSi1-x/Si单模脊形光波导,比较了其性能差异并给予
【作 者】
:
潘姬
赵鸿麟
【出 处】
:
光学学报
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
硅
光波导
束传播法
设计
制备
Si optical waveguides
propagating beam method.
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报道用束传播法模拟设计、指导硅大断面单模脊形光波导的制备工艺,应用傅里叶变换法计算了硅光波导中导模的传播常数,对实际研制成功的SIMOX及Si/GexSi1-x/Si单模脊形光波导,比较了其性能差异并给予理论解释。
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