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介绍了一种光学材料抛光新技术－低温抛光技术，首先把抛光液冷冻成低温抛光模层，并对单晶硅片做抛光实验，实验结果表明这是一种很好的光学材料抛光方法。
单晶硅片的低温抛光技术
【摘 要】
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介绍了一种光学材料抛光新技术－低温抛光技术，首先把抛光液冷冻成低温抛光模层，并对单晶硅片做抛光实验，实验结果表明这是一种很好的光学材料抛光方法。
【机 构】
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中科院长春光学精密机械研究所,吉林工业大学机械工程学院
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1998年5期
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