投影曝光技术在柔性折叠屏触控电路制作中的应用与发展

来源 :电子元器件与信息技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hgy630

【摘要】

：

有源有机发光显示(AMOLED)触控技术,从盒上(On-Cell)制作触控电路到外挂触控膜(Touch Film),再发展到新型的AMOLED上直接整合制作触控电路(TPOT:Touch Panel on Thin-Film-En

【作者】

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李会丽魏崇喜李喜峰

【机构】

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上海微电子装备（集团）股份有限公司,绵阳京东方光电科技有限公司,上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室

【出处】

：

电子元器件与信息技术

【发表日期】

：

2020年4期

【关键词】

：

触控电路柔性折叠投影式曝光分辨率和套刻精度

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有源有机发光显示(AMOLED)触控技术,从盒上(On-Cell)制作触控电路到外挂触控膜(Touch Film),再发展到新型的AMOLED上直接整合制作触控电路(TPOT:Touch Panel on Thin-Film-Encapsulation)。新兴柔性折叠屏技术飞速发展,TPOT触控技术由于具有显著的技术优势,逐渐成为柔性折叠屏(Foldable AMOLED Display)的主要技术之一。其电路制作工艺中接近式曝光技术的分辨率和套刻精度局限性不能满足其制作需求,而高分辨率与高套刻精度的投影

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