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本文介绍一种压电谐振式力传感器。该传感器以AT切型的圆片式石英晶体谐振器为敏感元件,通过测量谐振频率的变化量来间接测量待测力。实验结果表明:这种传感器具有良好的线性和稳定性,灵敏度随温度变化极小,没有迟滞现象。
压电谐振式力传感器的研究
【摘 要】
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本文介绍一种压电谐振式力传感器。该传感器以AT切型的圆片式石英晶体谐振器为敏感元件,通过测量谐振频率的变化量来间接测量待测力。实验结果表明:这种传感器具有良好的线性和稳定性,灵敏度随温度变化极小,没有迟滞现象。
【机 构】
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清华大学,清华大学
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1993年05期
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