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运用光学干涉原理,结合微系统测试分析仪器,分别对压电陶瓷管和压电陶瓷位移器的非线性特性进行测试研究,主要对升压及降压时PZT位移进行测试和电源驱动器闭环状态下的性能测试。
压电陶瓷微位移器特性测试实验研究
【摘 要】
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运用光学干涉原理,结合微系统测试分析仪器,分别对压电陶瓷管和压电陶瓷位移器的非线性特性进行测试研究,主要对升压及降压时PZT位移进行测试和电源驱动器闭环状态下的性能测
【机 构】
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中北大学电子测试技术国家重点实验室
【出 处】
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纳米科技
【发表日期】
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2009年3期
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