论文部分内容阅读
本发明包括一种用于形成物理气相淀积靶和支撑体的组件的方法。提供了一种物理气相淀积靶。该物理气相淀积靶具有<10×10^-6K^-1的热膨胀系数。将该物理气相淀积靶连接到一支撑体上。该支撑体的热膨胀系数<11×10^-6K^-1。本发明也包括一种包括物理气相淀积靶和连接到该物理气相淀积靶上的支撑体的组件。该支撑体包含碳纤维和铜。