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以常用无机亍为前驱体，通过化学合成固相粒子排布（ＡＳＳＰ－ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ ｏｆ ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｄ ｓｏｌｉｄ ｐａｒｔｉｃａｌ）途径，可以方便地制备绝大多数氧化物陶瓷薄膜。本文介绍了这种制膜方法的基本原理和工艺特点，对薄膜制备过程中的普遍规律进行了简要的分析。
陶瓷膜制备新工艺—ASSP法的基本原理和特点
【摘 要】
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以常用无机亍为前驱体，通过化学合成固相粒子排布（ＡＳＳＰ－ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ ｏｆ ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｄ ｓｏｌｉｄ ｐａｒｔｉｃａｌ）途径，可以方便地制备绝大多数氧化物陶瓷薄膜。本文介绍了这种制膜方法的基本原理和工艺特点，对薄膜制备过程中的普遍规
【机 构】
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北京科技大学压力加工系!北京,中国机械工程学会表面工程研究所!北京
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1998年5期
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