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用于半导体气体传感器的程控标定系统
用于半导体气体传感器的程控标定系统
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuleiyang
【摘 要】
:
组建了一套用于半导体气体传感器的程控标定系统.该系统使用一台四路输出的程控直流电源对半导体气体传感器进行编程加热,计算机控制质量流量计实现低体积分数被测气体的精确
【作 者】
:
任术波
唐祯安
蒋国平
张洪泉
范茂军
【机 构】
:
大连理工大学,信息产业部电子第49研究所
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2002年8期
【关键词】
:
半导体气体传感器
标定
程控系统
质量流量控制器
通用接口总线
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组建了一套用于半导体气体传感器的程控标定系统.该系统使用一台四路输出的程控直流电源对半导体气体传感器进行编程加热,计算机控制质量流量计实现低体积分数被测气体的精确配气并实时采集传感器的响应信号.该系统可对由四支气体传感器构成的阵列进行多种工作模式的标定.
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