纳米光学质谱仪—“光秤”(三)

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(3)基于腔机电系统的光学质谱仪。图9为基于腔机电系统的纳米光学质谱仪。其中机械振子位于电容为C的平行板电容器的上板。通过一个气体喷嘴把要测量的外界分子(如DNA分子等)喷洒在于此上板。机电微波腔具有振动频率ωc。纳米机械振子具有振动频 (3) Optical mass spectrometer based on cavity electromechanical system. Figure 9 is a nano-optical mass spectrometer based on cavity electromechanical system. The mechanical vibrator is located on the upper plate of the parallel plate capacitor with C capacitance. Through a gas nozzle to be measured outside molecules (such as DNA molecules) sprayed on the plate. Electromechanical microwave cavity has a vibration frequency ωc. Nano-mechanical vibrator with vibration frequency
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