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采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(中性气压和微波功率)变化呈现出区域特征、饱和现象和振荡行为等非线性现象.
电子回旋共振等离子体源的数值模拟
【摘 要】
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采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031中国科学技术大学近代物理系,合肥,230026;中国科学技术大学近代物理系,合肥,230026;中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031;
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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2000年3期
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