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简要地介绍了研制的大行程纳米定位系统宏动工作台的组成,详细地分析了其系统误差特性及几种误差补偿方法.实验表明,通过双向螺距误差补偿法可使其定位精度得到较大的改善.
精密定位平台的系统误差分析及螺距误差补偿方法的实现
【摘 要】
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简要地介绍了研制的大行程纳米定位系统宏动工作台的组成,详细地分析了其系统误差特性及几种误差补偿方法.实验表明,通过双向螺距误差补偿法可使其定位精度得到较大的改善.
【机 构】
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上海大学,上海俊乐制冷自控元件有限公司
【出 处】
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机电工程
【发表日期】
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2005年1期
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