【摘 要】
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随着微机电系统、TRIZ和CAD tools的迅速发展,MEMS器件可以经济高效的设计和生产出来。柔性设计被越来越多地应用到微型电子器件中,可以解决MEMS器件在封装过程中出现的问题
【机 构】
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东北林业大学信息与计算机工程学院,东北林业大学经济与管理学院
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随着微机电系统、TRIZ和CAD tools的迅速发展,MEMS器件可以经济高效的设计和生产出来。柔性设计被越来越多地应用到微型电子器件中,可以解决MEMS器件在封装过程中出现的问题。在MEMS器件封装、焊接过程中,由于芯片材料和衬底材料之间热膨胀系数的不匹配,导致在外界温度变化时的应力释放过多,进而造成电子封装偏差。这里以红外遥感器的芯片为研究对象,提出了基于TRIZ的柔性设计创新方法及CAD焊接工艺的创新方法,用冲突矩阵表达冲突参数和解决原理间的关系,据此得出焊接工艺问题的一般解。经过分析得出,增加芯
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