【摘 要】
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阐述了声表面波（SAW）甲基膦酸二甲酯（DMMP）气体传感器的设计和制作过程。为提高探测灵敏度和选择性,主要考虑了SAW振荡器的频率稳定性,敏感材料巯基十一酸（MUA）采用了分子自组装成
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阐述了声表面波（SAW）甲基膦酸二甲酯（DMMP）气体传感器的设计和制作过程。为提高探测灵敏度和选择性,主要考虑了SAW振荡器的频率稳定性,敏感材料巯基十一酸（MUA）采用了分子自组装成膜方式和Cu2＋化学修饰。实验结果显示：在1~100mg/m3的浓度范围内具有好的线性度和21Hz/mg/cm3的灵敏度。
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