【摘 要】
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感应耦合等离子体（ICP）由于无电极烧蚀污染、等离子体环境纯净，在制备高纯度陶瓷材料涂层上具有明显的技术优势。该文利用自主研制的感应耦合等离子体喷涂设备，开展碳化硼涂层制备的实验研究。并利用发射光谱仪和高速相机，对放电气体中加入氢气后的等离子体特性进行诊断。通过在等离子体放电气体中加入不同比例的氢气，研究等离子体工作参数对涂层性能的影响。采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和X射线荧
【机 构】
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合肥工业大学电子科学与应用物理学院
【基金项目】
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国家自然科学基金面上项目（11775271）和国家自然科学基金项目（Y95FZ40191）资助；
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感应耦合等离子体（ICP）由于无电极烧蚀污染、等离子体环境纯净，在制备高纯度陶瓷材料涂层上具有明显的技术优势。该文利用自主研制的感应耦合等离子体喷涂设备，开展碳化硼涂层制备的实验研究。并利用发射光谱仪和高速相机，对放电气体中加入氢气后的等离子体特性进行诊断。通过在等离子体放电气体中加入不同比例的氢气，研究等离子体工作参数对涂层性能的影响。采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和X射线荧光（XRF）分析了涂层的微观结构、物相和成分情况。结果表明，在放电气体中加入氢气会导致等离子体的宏观气体温度升高，从而提高喷涂粉末的表面熔融率；在放电气体中加入0.7L/min氢气时，制备的涂层结合强度最大，而且等离子体制备过程不会改变碳化硼的晶体结构。通过对比研究，得到最优化的制备参数，为该自主技术的工艺参数摸索提供重要的实验依据。
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