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本文详细地介绍了空气电容电压法的设备结构,测试原理和应用技术。空气电容电压测试方法能与C-V法进行匹配,较汞探针电容电压法接触式测试具有高效,不损伤硅片表面的优点。总结了电容电压法的应用技术和需要注意的事项。空气电容电压法已逐步在测量硅外延电阻率领域应用,在监控硅外延片在生产过程中电阻率的稳定性、监控外延层生长质量和降低企业成本方面起到了重要的作用。