论文部分内容阅读
作为半导体领域最为前沿的领域之一,从20世纪80年代末开始,MEMS产品因其广泛的应用领域及其独特的性能而开始受到业界的广泛关注.在信号处理技术快速发展但信号收集技术却相对滞后的现状下,用于信号采集的MEMS技术也被认为是当下最具发展前景和最具市场价值的高科技技术之一.MEMS市场良好的发展前景和可观的市场利润也吸引到各路厂商的积极进入,MEMS市场和产业格局也因此日益丰富和多元.