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氦等离子体前处理对多晶硅薄膜性能的影响

来源 :深圳大学学报(理工版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：zkl_2009
【摘 要】
：
采用微波电子回旋共振等离子体增强磁控溅射（microwave electron cyclotron resonance plasma-enhanced magnetron sputtering,ECR-PEMS）和电子回旋共振等离子体辅助化学气相沉
【作 者】
：
汝丽丽 孟月东 陈龙威 
【机 构】
：
中国科学院合肥物质研究院等离子体所,中国科学院大学合肥物质科学研究院,深圳大学-中国科学院等离子体物理研究所联合应用等离子体实验室
【出 处】
：
深圳大学学报(理工版)
【发表日期】
：
2013年4期
【关键词】
：
等离子体物理 多晶硅薄膜 电子回旋共振 等离子体增强 氦等离子体 磁控溅射 化学气相沉积 薄膜结晶度 纳米材料 plasma  polycrystalline 
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采用微波电子回旋共振等离子体增强磁控溅射（microwave electron cyclotron resonance plasma-enhanced magnetron sputtering,ECR-PEMS）和电子回旋共振等离子体辅助化学气相沉积（microwave electroncyclotron resonance chemical vapor deposition,ECR-CVD）技术,分别在单晶硅片（100）基底上低温制备了多晶硅薄膜.采用拉曼光谱仪、X射线衍射仪以及原子力显微镜对薄膜微观结
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