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本文提出应用扫描离子束云纹法测量微电子机械系统面内变形的新方法.对该方法的测量原理以及实验技术进行了详尽地阐述.通过平行云纹典型实验对本方法的测量精度进行了检验.成功地将扫描离子束云纹法应用于微悬臂梁表面氧化层随时间生长所引起的变形测量.实验结果表明了该方法的可行性.
微电子机械系统（MEMS）面内位移的扫描离子束云纹法实验研究
【摘 要】
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本文提出应用扫描离子束云纹法测量微电子机械系统面内变形的新方法.对该方法的测量原理以及实验技术进行了详尽地阐述.通过平行云纹典型实验对本方法的测量精度进行了检验.
【机 构】
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清华大学,教育部破坏力学重点实验室客座研究人员
【出 处】
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实验力学
【发表日期】
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2003年1期
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